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第181章 安装设备上（第1页）

第181章安装设备（上）

“吊车已经在路上了，过几分钟就能到。”

众人站在无尘车间外等了几分钟，两辆20吨级吊车就赶到了瑞达电子厂，而后以吊装的方式，将集装箱货车上的光刻机和刻蚀机，分别送入四个无尘车间。

接下来就是漫长的设备安装和调试，光刻机和刻蚀机，是这个世界上最精密的设备之二，可以在晶圆上完成纳米级别的精加工，如此高端的设备，对安装环境的要求也是非常的苛刻，平整度、温度、安装精度缺一不可。

瑞达电子厂斥巨资打造这四个电子级无尘车间，主要就是为了这两种设备服务。

王成业院士捧着一本足有砖头厚的英文原版安装说明书，一边翻看，一边感叹道：“啧啧啧，不愧是当前世界最先进的DUV光刻机，只是安装说明书，就有上千页，看着就让人头大。”

林梦松也跟着附和道：“谁说不是呢，越高端的设备越是娇贵，就拿这台光刻机来说，安装的环境温度高了不行，湿度大了不行，灰尘多了也不行，噪音稍稍大一些，成品率都会受到影响。”

“要说还是咱们乔同学神通广大，最阿斯麦先进的DUV光刻机都能搞的来，有了它，冲击28nm制程一点难度都没有。”

周万达看着面前这几台设备，口水都要流下来了。

要是他所在的北大集成电路实验室有两台如此先进的光刻机，怕是28nm制程早就攻克了。

林梦松抚摸着一台光刻机的外壳，说道：“小了，你的野心也太小了，28nm算什么，有了这些最先进的DUV光刻机和刻蚀机，通过套刻，多次曝光等工艺，实现7nm芯片的制造都是可能的，只是成品率可能没那么高。”

“我去，真的假的，如果真的实现了7nm工艺，那岂不是领先主流芯片加工技术三个节点，林博士，你不会是在吹牛吧？”

“我也觉得不可能，如果这套设备真的能实现7nm工艺制程，那摩尔定律岂不是要失效了。”

“我看那些期刊上说，要在芯片加工领域实现7nm工艺制程，必须使用光波更短的EUV（极紫外）光刻机，这个DUV光刻机做不到这么小的加工精度吧，能实现14nm工艺就已经很了不起了。”

众人对林梦松的观点，纷纷提出了质疑，只有重生一世的乔瑞达知道，使用DUV光刻机是真的可以实现7nm的芯片加工工艺。

不过实现这个工艺的难度非常非常的大，以至于全世界只有两个团队做到了，一个是台积电的工程师团队，另一个就是林梦松带领的中芯国际团队。

当然那是未来若干年之后，才会发生的事情，而且随着乔瑞达插手，林梦松的命运轨迹已经改变，就算他再次带领团队实现了这一壮举，也会打上瑞达科技的烙印，而不是中芯国际。

接下来的大半天时间，乔瑞达陪着安装工程师、王院士、林博士等人，在无尘车间内，按照说明书，小心的完成了一台光刻机的安装工作。

其实按照惯例，采购这种高端设备，一般需要生产厂家派出专家或工程师，辅助客户安装到位，这也是售后服务的一部分。

但是乔瑞达弄来的这些设备，来路不正当，自然不可能邀请阿斯麦的工程师来辅助指导安装。

好在乔瑞达在复制设备的同时，一并复制几套这些设备的详细安装使用说明书，大家按图索骥、集思广益，也能把这些光刻机刻蚀机安装到位，但是这个安装过程，消耗的时间，就要长很多了。

众人从下午一直干到半夜12点，也只是将一台DUV光刻机安装到位。

眼看着时间太晚了，乔瑞达只好宣布，“今天就到这里吧，其它设备的安装和调试工作，到明天再说。”

众人脱掉工作服，走出无尘车间，皆是长长的舒了一口气。

尽管如今的无尘车间，还没开始正式运转，众人进入其中无需穿戴厚重的无尘服，但是为了保证设备的正常，车间内部的温湿度还是要控制的，众人长时间待在里面，站立工作，依旧会非常的难受。

年纪最大的王院士，用右手攥成拳头，轻轻的捶打着后腰部，感叹道：“年纪大喽，稍稍工作时间长一些，就腰酸背痛的。

比不得你们这些小伙子，连续工作几个小时，依旧生龙活虎的。”