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光源问题困扰整个产业十多年。
甚至以英特尔、ib为首的美国企业成立了euvllc联盟,试图通过研究极紫外光,越过193n这一关。
尼康则是坚持循序渐进,专注于研究157n的f2激光,稳健发展。
只不过研究了这么些年,都没进展。
没人知道前景在何处。
当初弗兰克给秦蓁画的也不过是一张大饼而已,甚至希望借助于秦蓁的能力,看能否在极紫外光的研究上有所突破。
秦蓁婉拒了荷兰那边,并且以此为要挟,换的尼康和佳能帮自己采购一些机床设备和零部件。
她当然不会去当别人家的打工人,给别人打工有什么好,自己创业不好吗?
她有那么多志同道合的小伙伴呢。
简单的物理学知识,就可以实现降低波长这一宏伟目标。
沈航觉得这就像是一场梦。
“是啊,我们在透镜和晶圆之间加上水。”
加上水就行了。
过去几十年,光源从来都是直接从透镜到硅片,没人会想着改变这之间的介质——空气。
秦蓁的办法,可真是……
“你怎么想到的?”
“那就很久之前了。”
很久之前又是什么时候?
什么引发了秦蓁的灵感呢?
沈航有很多问题,但现在并不是提问的时候。
加一层水通过改变介质来变化波长,那么如何稳定这一汪水呢?
这又是需要技术攻关的内容。
“等成了,我请你去楼外楼,想吃什么都行。”
秦蓁有些不好意思起来,“不是说我请客的嘛,怎么好意思让师兄你破费呢。
不过你提出了,可别后悔就行。”
有什么好后悔的?
对于一个在硅谷生活多年的人来说,没什么比技术上的突破更让人振奋的了。
别说请秦蓁去楼外楼吃顿大餐,只要能解决这一难题,就是请秦蓁出国旅游都没问题。
大年初三,春节假期还没有结束,秦蓁和沈航已经去车间里忙了起来。
此前,秦蓁心中无数次的构思,但真的挪到机器上那就是一件万分困难的事情。
现在的光刻机是精密仪器,哪能碰水?
一个小部件不小心沾染了水都可能导致机器精度失真甚至污染,而且怎么加这一层水呢?
这是个大问题。
一个又一个的构思被否定,秦蓁嘴上都起了干皮,“你否定我倒是挺积极,要不自己提个方案?”
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