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此刻,他们围在一台巨大的设备前。
那是兰芳第一台极紫外光刻机原型机,体积比asl的机器小一圈,外观也更粗糙。
“开始吧。”
首席工程师说。
启动按钮按下。
光源系统预热,激光轰击锡滴,产生极紫外光。
反射镜聚焦,掩模对准,硅片曝光。
整个过程全自动进行,只有指示灯在闪烁。
一个小时,两个小时,三个小时。
“光源功率稳定在八十瓦。”
工程师报告。
“继续。”
五个小时,十个小时,二十个小时。
“功率没有衰减。
寿命测试,已经超过了两千小时。”
首席工程师的手在抖。
asl的光源寿命是一万小时,他们才到两千,但至少,他们点亮了。
五十个小时后,测试停止。
“寿命,八千小时。”
工程师的声音发颤,“比asl只差两千小时。”
首席工程师摘下眼镜,用衣角擦了又擦。
“给陈总打电话,”
他说,“告诉他,我们可以自己造光刻机了。”
三月二十日,陈思华召开记者会。
“各位,”
他站在台上,目光扫过全场,“美国商务部将兰芳半导体列入实体清单,禁止美国企业向我们出售设备和材料。
这是对我们的封锁,也是对我们的考验。”
他顿了顿,声音提高:“但我想告诉美国人:你们的封锁,来得太晚了。
七纳米制程,我们已经量产。
极紫外光刻机,我们已经造出来了。
一年之内,兰芳半导体的七纳米生产线,将实现百分之百自主。
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