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第638章 十万亿元（第3页）

“海底通道呢？”

“国家调了两台大型盾构机，从海山基地方向对向掘进。

设计全长四十七公里，直径十二米，双向四车道。

预计一年内贯通。”

秦风合上电脑，看着陈阳。

“通了之后，海山基地和雷山基地之间，物资和人员二十分钟直达。

两个基地互为备份，任何一个被摧毁，另一个都能独立运转。”

陈阳没说话，走回桌前坐下。

“设备。”

秦风早有准备，直接翻到采购清单。

“ArF浸没式DUV光刻机，上海微电子SSA800-10型，首批采购四十台。

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四重曝光配置，套刻精度正负1.7纳米以内。

上海微电子为了这笔订单，把今年全年产能的一半都给了我们。”

“ALD原子层沉积系统，拓荆科技，二十五台。

单原子层精度0.1纳米，用于高k栅介质沉积。

拓荆的董事长亲自飞到明州来签的合同。”

“刻蚀设备，中微公司和北方华创各供三十台。

ICP、RIE、ALE三种刻蚀机全覆盖，碳管沟道无损伤刻蚀选择比超过五十比一。”

“清洗设备，盛美上海，十五台。

兆声波清洗，颗粒去除率99.99%以上。”

“涂胶显影，芯源微，二十台。

磁控溅射、退火炉、PECVD——北方华创全家桶，六十台打包。”

秦风翻过一页。

“碳基专用设备——这部分是核心中的核心。”

“晶圆级碳管定向阵列CVD生长系统，北大重庆碳基院联合北方华创定制开发，第一批八台已经下线。

八英寸晶圆原位生长高密度平行碳管阵列，密度超过每微米一百五十根。”

“超高纯碳管宏量提纯系统，苏州冷石纳米，六台。

六个九纯度的半导体型碳管，公斤级产能。

天奈科技做备份供应。”

“碳管涂布与无损转移设备，苏州麟能定制，四台。

溶液法晶圆级均匀涂布，转移无损率99.9%。”

“碳管专用在线检测——拉曼光谱仪、原子力显微镜、晶圆级缺陷扫描，全套二十台。”

秦风合上清单，报了个数。

“前道设备总计两百三十七台套，碳基专用设备十八台套，中后道封测设备一百二十台套。

全部国产，零进口依赖。

设备总采购金额——四百一十亿。”

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