格格党

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第386章 45纳米光刻机（第2页）

他把老花镜戴上，又摘下，用衣角擦了擦镜片。

“改散热结构，加冷却水道，让冷却液均匀流过镜头四周。

温度稳了，变形就小了。”

何雨柱转过身，看著周厂长。

“改。

需要多久？”

周厂长想了想，又看了看王研究员。

“两周。

重新设计冷却水道，加工零件，安装调试。”

何雨柱点点头。

“改。

改完了再试。”

第七次试机安排在两周后的一个下午。

何雨柱又去了上海。

车间里站满了人，上海无线电厂的技术员、中科院微电子所的研究员、钱致远材料所派来的年轻人，把无尘车间挤得满满当当。

空调开得很足，但何雨柱还是觉得闷。

他站在人群后头，能看见那台机器上贴著的“45nm实验样机”

標籤，红字已经彻底模糊了。

周厂长站在操作台前头，手放在启动按钮上，没按。

他回头看了何雨柱一眼，又转回去，盯著屏幕上那几行还在跳动的温度数据。

等了十几秒，温度稳住了。

“各处温度正常，正负零点五度。”

操作员报数。

周厂长深吸一口气，按下按钮。

机器启动了。

光源亮起来，刺得人睁不开眼。

镜头旋转，工件台移动，硅片在曝光灯下慢慢移动。

车间里很安静，只有机器嗡嗡响。

何雨柱盯著仪錶盘上的数字，压力、温度、真空度，都在正常范围。

但他注意到周厂长的手一直没离开那个红色的紧急停止按钮，手指搁在上头，没按下去。

三十分钟。

四十分钟。

五十分钟。

机器停了。

技术员把硅片取出来，送到显微镜下。

王研究员凑过去，看了很久，一动不动。