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石墨烯分子会在台阶边缘聚集,沿着台阶的方向生长。
台阶的宽度决定了石墨烯纳米带的宽度。
台阶的边界越直,纳米带的边缘越平整。
边缘越平整,带隙越稳定。”
“基底台阶的精度能控制吗?”
“能。
用分子束外延技术,一层一层地生长基底材料,每一层的厚度可以控制在单个原子级别。
台阶的位置和宽度可以精确控制,误差不超过一个原子。”
沈默的手指在桌面上敲了两下。
“需要多长时间?”
“基底材料的生长至少需要一个月。
石墨烯的自组装大约需要一周。”
“太长。
芯片库存只剩两个多月。”
陈知行沉默了片刻。
“那就并行。
基底生长和光刻机改造同时进行。”
二
光刻机改造的方案在碳基芯片理论完成的第二天启动。
方远站在深紫外光刻机的机台旁边,手里抱着石墨烯光刻胶的样品瓶。
样品瓶不大,透明的玻璃壁里装着一种灰黑色的粘稠液体,在灯光下微微发亮。
“石墨烯光刻胶的灵敏度比传统光刻胶高了不止一个数量级。
传统光刻胶需要大量的光子才能发生化学反应,石墨烯光刻胶只需要几个电子就能触发交联。”
沈默接过样品瓶,对着灯光晃了晃。
“曝光速度能提高多少?”
“几十倍。
但这不是重点。
重点是分辨率。
传统光刻胶的分辨率受限于光的衍射极限,石墨烯光刻胶的分辨率受限于电子束的直径。
用现有的深紫外光刻机,配合石墨烯光刻胶,可以做出比现有精度更高的线宽。
不需要极紫外光刻机。
他们封锁什么,我们就绕过什么。”
沈默把样品瓶放回方远手里,走到光刻机的控制台前。
键盘上的字母已经被磨掉了好几个。
这台机器是公司的第一台光刻机,从海外进口的,在封锁名单生效前,刚好运抵海关。
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