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碳的阶梯（第2页）

石墨烯分子会在台阶边缘聚集，沿着台阶的方向生长。

台阶的宽度决定了石墨烯纳米带的宽度。

台阶的边界越直，纳米带的边缘越平整。

边缘越平整，带隙越稳定。”

“基底台阶的精度能控制吗？”

“能。

用分子束外延技术，一层一层地生长基底材料，每一层的厚度可以控制在单个原子级别。

台阶的位置和宽度可以精确控制，误差不超过一个原子。”

沈默的手指在桌面上敲了两下。

“需要多长时间？”

“基底材料的生长至少需要一个月。

石墨烯的自组装大约需要一周。”

“太长。

芯片库存只剩两个多月。”

陈知行沉默了片刻。

“那就并行。

基底生长和光刻机改造同时进行。”

二

光刻机改造的方案在碳基芯片理论完成的第二天启动。

方远站在深紫外光刻机的机台旁边，手里抱着石墨烯光刻胶的样品瓶。

样品瓶不大，透明的玻璃壁里装着一种灰黑色的粘稠液体，在灯光下微微发亮。

“石墨烯光刻胶的灵敏度比传统光刻胶高了不止一个数量级。

传统光刻胶需要大量的光子才能发生化学反应，石墨烯光刻胶只需要几个电子就能触发交联。”

沈默接过样品瓶，对着灯光晃了晃。

“曝光速度能提高多少？”

“几十倍。

但这不是重点。

重点是分辨率。

传统光刻胶的分辨率受限于光的衍射极限，石墨烯光刻胶的分辨率受限于电子束的直径。

用现有的深紫外光刻机，配合石墨烯光刻胶，可以做出比现有精度更高的线宽。

不需要极紫外光刻机。

他们封锁什么，我们就绕过什么。”

沈默把样品瓶放回方远手里，走到光刻机的控制台前。

键盘上的字母已经被磨掉了好几个。

这台机器是公司的第一台光刻机，从海外进口的，在封锁名单生效前，刚好运抵海关。