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第92章 56型接触式光刻机製成（第2页）

在他果断下令后，刘师傅立刻用特製的工具將螺栓牢牢锁紧。

这台崭新的56型接触式光刻机终於正式装配完成。

它占地面积极大，比起原先的土光刻机都要大上一圈。

原因也简单，毕竟原先的土光刻机並不承担那些大照相机等后续的工作。

而如今完整的光刻，除了最后封装外皆会在这台机子上完成。

几人眼下还来不及高兴，曹文三与曲嵩二人正將预先涂布好光刻胶的硅片交由沈永健装入工件台上。

首件光刻的测试，才是决定这台光刻机能否投入工作，是不是正式製成的关键。

沈永健深吸了口气，儘可能地平復心绪，透过镜头將硅片的复杂电路与掩膜版精確对准。

而卓邵文负责操作精密的真空吸附装置固定硅片和掩膜版。

“x轴偏差0.05微米，y轴…0.03微米…旋转偏差…修正完毕！”

初步手动校准后，完成最后一道电镜的自动校准，沈永健从操作台退后一步。

“对准完成！

准备曝光！”

其余几人同样跟著后退，撤出设备的核心区域，目光跟隨著沈永健按下了启动按钮。

嗡——

高压汞灯瞬间点亮，炽白的光线经过复杂的光学系统，穿透掩模版，精准地投射在涂有光刻胶的硅片上。

设备內部传来冷却液循环的水流声和精密机械运转的细微蜂鸣。

预设的曝光时间在紧张而寂静的空气中一秒一秒地流逝。

所有人脸上都不免闪过紧张与期待。

饶是沈永健也一样，他对理论图纸有信心，但最终组装成的设备也没法一次保证能成，万一有个別零件不合格等，都会影响这台精密机器的运转。

“叮！”

终於！

计时器清脆的提示音打破了沉寂，曝光结束。

沈永健立刻上前，小心翼翼地取下硅片。

卓邵文迅速准备好显影液槽，当硅片浸入显影液，经过短暂的化学反应和冲洗后，被放在高倍显微镜下。

沈永健第一个凑近目镜，显微镜视野中，清晰地呈现出一组极其微小的，边缘锐利的线条图案。

正是掩模版上设计的电晶体电路图形！

运气不错！