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第74章 神座的坍塌（第2页）

的论文，但是都只是新瓶装旧酒，翻来覆去的说一些废话，但是硬伤其实没多少。

但是在看了佐藤健一郎昨天的论文，將那些看似完美的公式，那些令人惊嘆的数据，一点点拆解、分析之后，他发现这个论文不仅仅是那一个数据有问题，那种不和谐感，更像是贯穿始终的隱患。

短短十分钟，他就已经標註出了5个明显的错误。

除了昨天发现的光刻胶收缩率修正係数错误之外，还有2个公式推导错误，1个实验数据造假，与实验条件不匹配，1个逻辑漏洞。

其中，最严重的就是那个逻辑漏洞。

佐藤健一郎的正则化框架，核心是解决euv光刻中的像差和失真问题，但他在建立模型时，竟然忽略了杂散光的干扰。

要知道，杂散光会导致电路图案边缘模糊，影响晶片的精度和良率，这可是euv光刻中一个极其关键的因素。

忽略了这个因素，他的整个模型就失去了实际应用价值，所谓的“完美解决误差问题”

“良率突破95%”

，也只是空中楼阁，纯属空谈。

几乎可以说，这篇论文毫无可取之处，不管是计算还是理论都充满了矛盾，全是bug。

一个对学术严谨性有极高追求的人，是绝不会出现这样的疏漏的。

而一个习惯了弄虚作假的人，必然会在更多的地方留下痕跡。

於是，肖宿还找到了佐藤健一郎近10年发表的所有核心论文，一共17篇。

佐藤健一郎確实挺有分量的，这17篇论文，篇篇都是光刻和数学领域的“硬通货”

。

其中8篇发表在《光刻科学与技术》（lst）上，这本期刊是全球光刻领域的顶流，相当於学术圈的“顶奢杂誌”

，能在上面发表一篇论文，足以让很多学者评上教授、站稳脚跟。

另外6篇发表在《应用数学进展》，这也是国际数学界公认的核心顶刊，专注於应用数学的前沿研究，审稿严格到令人髮指。

剩下3篇则刊登在《计算光学学报》，同样是领域內的权威刊物，聚焦於计算光学与晶片製造的交叉领域。

更值得一提的是，这17篇论文中，有5篇被评为“年度最佳论文”

，3篇被引用次数超过千次，是全球光刻数学领域很多研究的“基础模板”

。

也正是靠著这些论文，佐藤健一郎才坐稳了京都大学教授的位置，拿到了日本学术振兴会的特別资助，甚至成为了国际光学工程学会的最高荣誉获得者，在全球光刻领域拥有举足轻重的话语权。

肖宿点开了佐藤健一郎发表在《光刻科学与技术》上的一篇顶刊论文，这篇论文发表於3年前，被引用次数超过800次，是很多学者研究euv光刻数学模型的重要参考。

依旧是十几分钟，肖宿就看完了这篇论文，找出了4个错误，其中一个是关键的计算错误，在计算光刻解析度的时候，佐藤健一郎误用了公式，將数值算小了，导致整个实验结论出现偏差。

还有一个是理论推导错误，他將两种不同的光刻数学模型强行融合，忽略了两者的適用条件，导致模型本身自相矛盾。

就这样，肖宿一篇接一篇地看下去，速度快得惊人，却从未遗漏任何一个错误。

他的草稿本，一页又一页地写满了错误標註、正確的推导过程，还有对错误影响的简要分析。

下午四点多的时候，肖宿终於关掉了最后一篇论文。

他已经看完了佐藤健一郎近10年发表的所有17篇核心顶刊论文，找出了大大小小將近50多个错误，平均每篇论文有3个错误，有的论文甚至有5个之多。

更令人震惊的是，其中有12个错误是致命的。

一旦这些错误被证实，不仅仅是单篇论文失效，整个佐藤正则化框架都会崩塌，甚至会影响到全球范围內基於他的研究开展的后续工作，那些引用过他论文的研究，也都会面临被推翻、被撤回的命运。

肖宿看著眼前密密麻麻的批註，眉头紧锁。

他实在无法理解，藤田健一郎怎么能犯下这么多的错误，而且学界的人还看不出来，將他的理论奉为圭臬？

或许，学术圈有时候並不只是需要真理，也需要一尊可以膜拜的“神像”

。

而当所有人都习惯了仰视，便没人会去检查“神像”

脚下的基座，早已裂痕遍布。