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“校准了三次。”
张卫东说,“我和刘工亲自调的。
光学系统我们也拆开清洁过,镜片没问题。”
“光刻胶呢?”
“按配方配的。”
林雪接口,“我们试了三种配方,这种效果最好,但也……”
赵四沉默了一会儿,环视车间。
这里条件确实简陋。
洁净度最多千级,温度控制靠几台老空调,湿度完全看天气。
而他们要做的,是在硅片上刻出宽度只有几微米的线条。
这就像用生锈的刻刀在头发丝上雕刻。
“把所有人都叫来。”
他忽然说,“开个现场会。”
十分钟后,车间里站了二十几个人。
除了北京来的核心团队,还有上海厂本来的技术工人、新招的学徒,以及几个从其他单位借调来的专家。
大家都站着,没人坐。
空气闷热,但没人擦汗。
“情况大家都看到了。”
赵四开门见山,“良品率5,等于100片里只有5片能用。
这个成本,我们承受不起。
更关键的是,如果连最简单的光刻都过不了关,后面的扩散、离子注入、金属化,更没戏。”
他顿了顿,目光扫过每个人:“现在不是互相埋怨的时候,也不是退缩的时候。
我们需要找到问题,解决问题。
每个人,说说自己的看法。
从光刻胶开始。”
负责光刻胶的是个中年女技术员,姓王,以前在化工厂工作。
她有些紧张:“赵总工,我……我都是按配方配的。
原料是咱们能搞到的最好的,配比也是反复核对过的。”
“原料批次稳定吗?”
“不稳定。”
王技术员实话实说,“这批重铬酸盐是天津产的,纯度标的是99,但实际怎么样……我们没仪器测。”
“显影液呢?”
“显影时间控制不准。”
一个年轻工人举手,“咱们的定时器是机械的,误差大。
有时候差几秒钟,效果就完全不一样。”
“还有温度。”
另一个说,“车间温度波动大,光刻胶的感光性会变。
中午热的时候和晚上凉的时候,曝光时间得调。”
问题一个接一个地冒出来。
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