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设备老旧、材料不稳、环境控制差、操作经验不足……每一个问题单独看都不致命,但叠加在一起,就成了跨不过去的坎。
等大家都说完,车间里一片沉默。
沮丧的情绪像车间里的化学气味一样,弥漫在空气中,黏糊糊的,甩不掉。
“都说完了?”
赵四问。
没人吭声。
“好,那我说几句。”
他走到光刻机前,拍了拍那台老旧的机器,“这台机器,是东德二十年前的产品。
按国际标准,早该淘汰了。
但我们没有更好的,只能用这个。”
“我们的原料,纯度不够,批次不稳。
但我们没有外汇进口高纯度的,只能用这个。”
,!
“我们的车间,洁净度不够,温控不精准。
但我们没有钱建超净车间,只能用这个。”
他顿了顿,声音提高:“但同志们,这些是理由吗?是咱们做不出合格芯片的理由吗?”
还是没人说话。
“我说,不是!”
赵四重重地说,“设备旧,我们可以改造。
材料差,我们可以提纯。
环境不好,我们可以想办法控制。
这些是困难,但不是绝路!”
他拿起一片报废的晶圆:“大家看看这个。
线条模糊,断线,粘连。
问题出在哪?出在我们把每个环节都当成独立的,没有当成一个整体。”
“光刻不是涂胶、曝光、显影三步就完了。
它是一整套工艺。
硅片清洗得干净吗?涂胶前表面处理到位吗?胶膜厚度均匀吗?曝光能量够不够?显影时间准不准?后烘温度对不对?”
他一个个问题抛出来,每个问题都指向一个具体的环节。
“我们现在要做的,不是抱怨设备不行、材料不行。”
赵四放下晶圆,“而是要把这整套工艺,拆解成几十个、几百个细节,每个细节都做到我们能做的最好。
设备精度不够,我们就用土办法补偿。
材料纯度不够,我们就多道工序提纯。
环境控制不好,我们就人工监测,随时调整。”
他看向陈启明:“启明,从今天起,你负责建工艺档案。
每一次光刻,每一个参数。
室温、湿度、胶的批次、涂胶转速、曝光时间、显影浓度、后烘温度。
全部记录。
做一百次,记录一百次。
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