格格党

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第311章 第一片亮起的硅（第2页）

但车间里所有人都知道，这瓶东西，关系到未来三天二十片晶圆的命运，关系到“长城1号”

能不能从图纸变成实物，关系到他们这三个月没日没夜的挣扎，到底有没有意义。

“开始涂胶。”

陈启明下了指令。

第一片晶圆，直径三英寸，表面抛光得像镜子一样的硅片，被小心地固定在涂胶台的吸盘上。

操作工小周今年才十九岁，三个月前还在车间学钳工。

现在，他的手要控制这台老旧的涂胶机，在硅片上涂出厚度只有一微米、均匀得像湖面一样的光刻胶膜。

他手在抖。

“小周，”

赵四走到他身边，“还记得我第一天跟你说的话吗？”

小周抬起头，脸色发白：“记得……您说，我洗的每一片硅片，将来可能用在导弹上，用在飞机上……”

“不是可能。”

赵四纠正他，“是一定。

你今天涂的这片胶，会成为中国第一颗自主芯片的一部分。

将来这颗芯片用在哪里，做什么，都从你这一涂开始。”

小周深吸一口气，用力点头：“赵总工，我……我尽力。”

“不是尽力。”

赵四看着他，“是必须。

相信自己，相信这三个月你练的那几千遍。”

小周咬紧牙关，按下启动钮。

吸盘旋转起来，越来越快。

光刻胶从滴管落下，在离心力作用下迅速摊开，形成一层薄薄的膜。

转速、温度、时间……所有参数，小周已经烂熟于心。

涂胶完成。

薄膜均匀，没有气泡，没有条纹。

“漂亮！”

陈启明凑到显微镜前看了一眼，忍不住赞叹。

小周这才发现自己后背全湿透了，腿一软，差点坐地上。

旁边的老师傅赶紧扶住他，拍拍他的肩：“小子，行啊！”

这只是第一步。

涂胶、前烘、对准、曝光、显影、后烘……光刻这一道工序，就有七个关键步骤。

每个步骤都可能失败，而一旦失败，这片晶圆就废了，三个月的等待，无数人的心血，都废了。

陈启明亲自操作光刻机。

这台六十年代的东德老设备，经过张卫东团队的改造，加装了简易的数控系统。

但核心的光学系统还是原来的，分辨率有限，对准精度也有限。

“掩膜版对准。”

陈启明眼睛贴在显微镜上，手轻轻转动微调旋钮。

掩膜版上，是“长城1号”

的全部电路图案。

那是几十个工程师，用放大镜和刻刀，在玻璃板上一点一点刻出来的。