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最细的线条只有十微米,差不多是头发丝直径的七分之一。
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“对准完成。”
陈启明直起身,揉了揉发酸的眼睛,“曝光参数?”
“能量300毫焦,时间8秒。”
张卫东看着刚改造完的控制面板,“紫外灯管是新换的,强度波动在正负5以内。”
“开始。”
紫外灯亮了,发出幽幽的紫光。
八秒钟,很短。
但在场所有人,都觉得这八秒钟,像一个世纪那么长。
曝光完成。
晶圆被送入显影槽。
显影液是弱碱性的,会溶解未被紫外线照射的那部分胶膜,露出下面的硅。
这个过程,就像洗照片,曝光的地方硬化保留,没曝光的地方溶解消失。
一分钟,轻轻摇晃。
陈启明取出晶圆,用去离子水冲洗,然后吹干。
他再次把晶圆放到显微镜下。
所有人都围了过来,屏住呼吸。
视野里,出现了图案。
歪歪扭扭的线条,边缘不齐,有的地方宽,有的地方窄,土胶的粗糙一览无余。
但是,线条是连续的!
没有断线,没有短路,关键的晶体管区域、连线区域,都清晰可见。
“成了。”
陈启明直起身,声音有点抖,“第一道光刻,成了。”
车间里响起一片压抑的欢呼声。
但很快又安静下来,大家都明白,这只是一小步。
后面还有几十步。
蚀刻、扩散、离子注入、金属化、钝化、划片、封装、测试……每一步,都像走钢丝。
赵四下令:“按计划,二十片晶圆,全部走一遍流程。
不要急,一步一个脚印。”
车间里再次忙碌起来。
每个人都知道自己的岗位,都知道该做什么。
三个月的高强度磨合,让这支临时组建的队伍,有了惊人的默契。
时间在流逝。
窗外的天,从漆黑转为深蓝,又透出鱼肚白。
上海醒了,城市的喧嚣从远处传来。
但车间里的人,仿佛置身另一个世界,一个只有硅片、光刻胶、化学试剂和机器嗡鸣的世界。
上午十点,二十片晶圆全部完成了前道工序。
它们躺在净化柜里,表面已经布满了复杂的电路图案,只是还看不出是芯片,要等金属化完成后,铝线把各个晶体管连接起来,才能形成完整的电路。
“金属化准备。”
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