格格党

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第311章 第一片亮起的硅（第4页）

陈启明声音沙哑，他已经连续工作了十八个小时。

真空蒸镀机是老设备，故障率高。

张卫东带着两个人，已经提前检修了三遍。

“真空度达标。”

“铝丝纯度检测通过。”

“基片温度稳定。”

“可以开始。”

铝丝在高温下蒸发，在真空环境中沉积到硅片表面，形成一层极薄的金属膜。

然后，通过光刻和蚀刻，把这层膜刻成需要的连线图案。

这个过程，对温度和真空度的控制要求极高。

温度差几度，真空度差一点，铝膜的附着性就会出问题，导致连线断裂或短路。

机器开始运转。

透过观察窗，可以看见铝丝在高温下慢慢熔化、蒸发，在硅片表面凝结成一层银白色的薄膜。

很美，像星空。

一个小时后，第一批五片晶圆完成金属化。

“快检。”

陈启明急声道。

检验员小吴拿着探针台，在每片晶圆的测试结构上测量接触电阻。

数据一个个报出来：“接触电阻，12欧姆，合格。”

“15欧姆，合格。”

“08欧姆，合格。”

“36欧姆……偏高。”

“11欧姆，合格。”

五片里有四片合格。

“可以接受。”

赵四点头，“继续。”

上午十一点，所有晶圆完成金属化。

二十片里，有十六片通过了快检。

“划片。”

划片机是把整片晶圆切割成一个个小方片，每个小方片，就是一个管芯。

这台设备精度要求更高，刀片转速、进给速度、冷却液流量，每一个参数都要精确控制。

一片晶圆上有上百个管芯。

一刀切偏，可能废掉好几个。

操作划片机的是老工人孙师傅，干这行二十年了。

他戴上老花镜，调好参数，按下启动键。

刀片高速旋转，发出尖锐的鸣响。

晶圆在刀片下缓缓移动，被切割出一条条整齐的划道。

一片，两片，三片……中午十二点，所有晶圆划片完成。

一千多个管芯，像整齐的士兵，排列在承载膜上。

接下来是封装，把管芯粘在陶瓷基座上，用金丝键合机焊上引线，最后盖上封装壳。