格格党

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第666章 一波未平一波又起（第1页）

“天机”

和“神笔”

的复杂度，远超之前的sra和“盘古”

芯片。

它们集成了数以百万计的晶体管，设计规则更严格，对工艺波动更敏感。

尤其是“天机”

那动态可重构的阵列和“神笔”

那些可编程的渲染单元，其版图密度和互连复杂度，对“麒麟”

线这台刚刚学会走路的“机器”

来说，是前所未有的挑战。

前端的工序相对顺利。

虽然数据量巨大，但经过优化后的掩模数据和工艺配方，在光刻、刻蚀等关键步骤上，没有出现灾难性的错误。

真正的考验，出现在后端金属互联阶段。

“报告，tal3层，a13区域，在线缺陷检测（odi）发现异常，疑似金属线桥接（short）。”

工艺工程师的声音带着一丝紧张响起。

屏幕立刻切换，放大到a13区域。

在高分辨率的检测图像上，两条本应隔开的细密金属线，在某个转弯处，似乎因为刻蚀后的残留物或者化学机械抛光不均，出现了极其微小的连接迹象。

“桥接……”

冯建国的眉头拧成了疙瘩。

金属线桥接意味着短路，是芯片的致命伤。

“能定位到具体是哪个模块吗？”

“正在对应gds（版图数据）……定位到了，是天机芯片的l2缓存（二级缓存）与总线接口的一个交叉区域。”

控制室内的气氛骤然一紧。

l2缓存是天机性能的关键，这里出问题，可能导致缓存失效、数据错误，甚至整个芯片无法启动。

“先不要慌。”

祁同伟的声音依旧平稳，“这种规模的桥接，在odi图像上看很微小，可能只是表面残留，实际电学上未必真短路。

冯工，通知线上，对这个批次的晶圆，在tal3刻蚀后，增加一道加强清洗和复查。

另外，准备对这个区域做定点切割和电镜复查。”