《六十年代研究员作者遇见1992》第 262 章
这一次光学研究所的目标还是非常大了，想直接将步进扫描投影曝光机，准备将集成电路图形的线宽缩小到035 μ的节点。波长能达到193n, 光学光刻分辨率争取能达到70n的极限，目标很宏大，自然需要的时间也不少。 限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关, 而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长，因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源, 研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务，所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193n甚至是要比这个数字更短的光源。 而这项任务除了本身的研究实力，大量的实验之外, 自然还需要不少运气了，陆见倒是记得光刻机的几种光源，大概是激光、紫外光、深紫外光，还有极紫外光，而极紫外光是后世最先进的光源技术...
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《六十年代研究员作者遇见1992》章节列表
- 第1章 你好66年
- 第2章 初试
- 第3章 复试
- 第4章 录取
- 第5章 知青来了
- 第6章 家庭会议
- 第7章 计分员
- 第8章 书中世界
- 第9章 第9章
- 第10章 入职前时光
- 第11章 报到
- 第12章 第一次讲课
- 第13章 御厨
- 第14章 项目书
- 第15章 吴厂长
- 第16章 车间之行
- 第17章 17
- 第18章 机床保养
- 第19章 被审问
- 第20章 20
- 第21章 21
- 第22章 22章
- 第23章 23
- 第24章 第 24 章
- 第25章 第 25 章
- 第26章 第 26 章
- 第27章 第 27 章
- 第28章 第 28 章
- 第29章 第 29 章
- 第30章 第 30 章
- 第31章 第 31 章
- 第32章 第 32 章
- 第33章 第 33 章
- 第34章 第 34 章
- 第35章 第 35 章
- 第36章 第 36 章
- 第37章 第 37 章
- 第38章 第 38 章
- 第39章 第 39 章
- 第40章 第 40 章
- 第41章 第 41 章
- 第42章 第 42 章
- 第43章 第 43 章
- 第44章 第 44 章
- 第45章 第 45 章
- 第46章 第 46 章
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